脆性材料切割設(shè)備
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海目星激光
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海目星-產(chǎn)品
OVERVIEW
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
脆性材料切割設(shè)備
此設(shè)備應(yīng)?場(chǎng)景可適?于藍(lán)寶?等脆性材料切割，LED芯?隱形切割。
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脆性材料切割過(guò)程展示圖
ADVANTAGE
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
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激光光斑?于2μm，?作距離10.48mm，芯?切割道寬度為4μm~10μm，熱影響區(qū)?于2μm。
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芯?電性導(dǎo)通良率?于98%，單晶率?于99%(單晶間距外擴(kuò)偏差值可??10μm)。
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切割垂直度?于2°，可切割最?尺?0204，切割厚度50~170μm 單?位雙吸盤(pán)(同時(shí)上下料)。
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切割效率?。
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型號(hào)可選擇：半?動(dòng)/全?動(dòng)。
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基本信息
- 設(shè)備尺寸：長(zhǎng)2000mm × 寬2350mm × 高2100mm (不含EFU、輔助設(shè)備、 指?燈)
- 行程大?。?/span>X軸300mm x Y軸450mm
- 設(shè)備重量：2000Kg
- 加工類型：藍(lán)寶?、半導(dǎo)體材料、脆性材料
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產(chǎn)品性能
- 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重復(fù)定位精度：±0.75μm
- 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度：±1.5μm
- 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度：≤1000mm/s
- Z軸重復(fù)定位精度：±1.5μm
- Z軸定位精度 ：±3μm
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